基于 WebGL 的聚焦离子束 (Focused Ion Beam) 实时仿真平台,采用 Yamamura 溅射模型,支持多层材料结构。
| 版本 | 功能 | 适用场景 |
|---|---|---|
| ⚡ 基础版 | 手动加工、参数调节、3D 可视化 | 快速体验 |
| 🎓 教学版 | 预设图案、自动铣削、深度剖面图 | 课堂演示 |
| 🔬 科研版 | 多层材料、剂量计算、STL 导出 | 科研分析 |
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# 使用 Python
python -m http.server 8000
# 或使用 Node.js
npx serve .然后访问 http://localhost:8000
- Yamamura 溅射模型 - 真实模拟角度依赖的溅射产额
- GPGPU 计算 - 使用 WebGL 着色器进行高性能并行计算
- 多层材料 - 支持 Si、SiO₂、Au、Pt、Cu 等多种材料
- 实时分析 - 剂量、深度、体积实时计算
- 数据导出 - STL 3D 模型 / JSON 数据导出
fib-simulator/
├── index.html # 首页
├── FIB.html # 基础仿真版
├── FIB_Education.html # 教学演示版
├── FIB_Research.html # 科研工具版
└── README.md # 说明文档
| 操作 | 功能 |
|---|---|
| 左键拖动 | 进行 FIB 加工 |
| 右键拖动 | 旋转视角 |
| 滚轮 | 缩放视图 |
聚焦离子束 (FIB) 是一种利用聚焦的离子束(通常是 Ga⁺)对材料进行纳米级加工的技术。主要应用:
- 🔍 半导体失效分析
- 🔬 TEM 样品制备
- ✂️ 微纳加工
- 📸 离子束成像
- Three.js - 3D 渲染引擎
- WebGL 2.0 - GPU 加速计算
- GLSL 着色器 - GPGPU 仿真
MIT License - 仅供学习交流使用
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